Neue Möglichkeiten in Halbleiterfertigungsanlagen und
- 100’000+ Start/Stop-Zyklen
- Selbststabilisierende Gaslager
- Minimale benetzte Oberflächen und Materialien
- Keine rotierende Dichtung
Die Verwendung von Argon, Krypton, Neon und Xenon, in Halbleiterfertigungsanlagen erfordert oft öl- und wartungsfreie Geräte zur Druckerhöhung. Diese Rezirkulation von Edelgasen kann mit unseren Turbo Kompressoren mit höchster Drehzahl und Effizienz ausgeführt werden. Das kompakte und heliumdichte Design ermöglicht zudem kompakte Maschinen, die dabei Platz im Reinraum sparen. Die Kompressoren sind auch in druckdichter Ausführung erhältlich und erlauben dabei Drücke von über 100 bar absolut am Einlass des Kompressors. Die Closed-Loop-Tests der Kompressoren werden bei Celeroton In-House durchgeführt.